直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的多軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，X軸驅(qū)動(dòng)采用直線電機(jī)加高分辨率編碼器，高精度等級的線性導(dǎo)軌，采用精度和耐用穩(wěn)定性并存的大理石平臺(tái)作為底座。行程600mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程10um以內(nèi)。Y軸驅(qū)動(dòng)方式與X軸相同，行程260mm，重復(fù)定位精度1um，補(bǔ)償后定位精度2um以內(nèi)，直線度全行程5um。Z軸采用伺服電機(jī)加高分辨率光柵編碼器的全閉環(huán)控制方案，通過特殊的內(nèi)部傳動(dòng)結(jié)構(gòu)使電機(jī)外置，保證精度的同時(shí)也減小了整體的空間，Z軸行程16mm，重復(fù)定位精度3um，補(bǔ)償后定位精度5um以內(nèi)。旋轉(zhuǎn)軸可連續(xù)360°，重復(fù)定位精度±2arcsec，定位精度±15arcsec。整體運(yùn)行平面度±25um，XY軸正交7.5arcsec。此平臺(tái)可應(yīng)用于半導(dǎo)體等對精度有一定要求的行業(yè)。