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XY精密滑臺(tái)
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產(chǎn)品描述
參數(shù)
Awooe-XY精密滑臺(tái)是一個(gè)集成XY線性電機(jī)位移臺(tái),旨在消除單個(gè)X級(jí)和Y級(jí)的集成,并提高系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)應(yīng)用剛度。它的特點(diǎn)是行程范圍為 100mm,X軸和Y軸之間具有精確的正交對(duì)準(zhǔn),是精密工業(yè)應(yīng)用的理想解決方案,X/Y重復(fù)定位±0.5μm、定位精度(含補(bǔ)償)±0.5μm、直線度3μm、最大速度 X/Y:150mm/s
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